（3）核心環(huán)節(jié)
半導(dǎo)體零部件按照類型分，可以分為6類：分別為機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、氣體/液體/真空系統(tǒng)類、儀器儀表類、光學(xué)類。
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（4）重點(diǎn)企業(yè)
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2.核心子系統(tǒng)
半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵子系統(tǒng)主要分為8大類，可分為：氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)、集成系統(tǒng)，每個(gè)子系統(tǒng)亦由數(shù)量龐大的零部件組合而成。
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