二、上游分析
1.碳化硅襯底材料
碳化硅襯底是一種由碳和硅兩種元素組成的化合物半導(dǎo)體單晶材料,具備禁帶寬度大、熱導(dǎo)率高、臨界擊穿場強(qiáng)高、電子飽和漂移速率高等特點(diǎn)。根據(jù)下游應(yīng)用領(lǐng)域不同,可分類為導(dǎo)電型和半絕緣型。
在半絕緣型碳化硅襯底方面,2020年全球半絕緣型碳化硅襯底市場集中度較高,美國的Wolfspeed、II-IV以及國內(nèi)山東天岳三家獨(dú)大,占比合計(jì)高達(dá)98%。
數(shù)據(jù)來源:Yole,Wolfspeed,勢銀(TrendBank)、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
在導(dǎo)電型碳化硅襯底方面,2020年全球?qū)щ娦吞蓟枰r底美國的Wolfspeed一家獨(dú)大,市占率高達(dá)62%,II-VI、SiCrystal、SKSiltron、天科合達(dá)等企業(yè)瓜分剩余市場。
數(shù)據(jù)來源:Yole,Wolfspeed,勢銀(TrendBank)、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
2.外延材料
碳化硅外延片,是指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶相同的單晶薄膜(外延層)的碳化硅片。在器件制備方面,由于材料的特殊性,器件過程的加工和硅不同的是,采用了高溫的工藝,包括高溫離子注入、高溫氧化以及高溫退火工藝。通常用化學(xué)氣相沉積(CVD)方法制造,根據(jù)不同的摻雜類型,分為n型、p型外延片。
3.重點(diǎn)企業(yè)分析
資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理