中商情報網(wǎng)訊:光刻機是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。為了避免在芯片產(chǎn)能爬坡時被外界的設(shè)備供應(yīng)給“卡脖子”,國產(chǎn)光刻機正在加快突破。
一、產(chǎn)業(yè)鏈
中國光刻機產(chǎn)業(yè)鏈上游為材料、設(shè)備及組件;中游為不同類型光刻機,包括有掩膜光刻機和無掩膜光刻機;下游為應(yīng)用領(lǐng)域,包括芯片制作、芯片封裝、功率器件制造、LED、MEMS制造。
圖片來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院