二、上游分析
1.軸承
軸承是半導體設備制造中的一種重要零部件，它的主要功能是支撐機械旋轉體，降低其運動過程中的摩擦系數(shù)，并保證其回轉精度。數(shù)據(jù)顯示，2021年我國軸承產量完成233億套，比2020年同期增長32.7%。預計2022年軸承產量將達259億套。
數(shù)據(jù)來源：中國軸承工業(yè)協(xié)會、中商產業(yè)研究院整理
2.信息交互系統(tǒng)
半導體設備上游中包括精密運動控制系統(tǒng)、伺服驅動系統(tǒng)和測試分選設備本體；精密運動控制系統(tǒng)作為核心部件，向伺服驅動系統(tǒng)分配運動指令，從而帶動測試分選設備本體運轉，對芯片進行分選。具體如下圖所示：
資料來源：中商產業(yè)研究院整理
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