日韩精品三级呦呦|五月丁香蜜臀|99久亚洲精品热|色婷婷五月一区

2021年中國(guó)光刻機(jī)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上中下游市場(chǎng)分析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2021-03-23 16:59
分享：

三、中游分析

1.分類

光刻機(jī)按照有無(wú)掩?？煞譃橛醒谀９饪虣C(jī)和無(wú)掩模光刻機(jī)。這兩類光刻機(jī)分別有不同的種類：無(wú)掩模光刻機(jī)分為電子束直寫光刻機(jī)、激光直寫光刻機(jī)、離子束直寫光刻機(jī)，有掩模光刻機(jī)分為接近/接觸式光刻機(jī)以及投影光刻機(jī)。

資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.工作原理

光刻機(jī)的工作原理是通過(guò)一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過(guò)畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。不同光刻機(jī)的成像比例不同，有5:1，也有4:1。

簡(jiǎn)而言之，光刻機(jī)本身的原理，其實(shí)和相機(jī)非常相似，光刻機(jī)就像是一臺(tái)巨大的單反相機(jī)。對(duì)比相機(jī)和光刻機(jī)，被拍攝的物體就等同于微影制程中的光罩，聚光鏡就是單反鏡頭，而底片（感光元件）就是預(yù)涂光阻層的晶圓。

                                  光刻機(jī)工作原理圖

資料來(lái)源：智能電子集成網(wǎng)、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

如發(fā)現(xiàn)本站文章存在版權(quán)問(wèn)題，煩請(qǐng)聯(lián)系editor@askci.com我們將及時(shí)溝通與處理。
中商情報(bào)網(wǎng)
掃一掃，與您一起
發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)的價(jià)值
中商產(chǎn)業(yè)研究院
掃一掃，每天閱讀
免費(fèi)高價(jià)值報(bào)告
?